在半导体、光学元件以及汽车制造等行业的微观制造环节，产品表面形貌与尺寸的精准测定，很大程度上助力了产品性能的稳定保障，也为生产工艺的升级提供了有力支撑。
在此背景下，WLI(白光干涉)技术凭借其高精度、非接触式3D测量这一优势，成为精密测量领域中备受关注的前沿技术之一 。
基 本 原 理
WLI，即 White Light Interferometry，是基于光干涉原理的精密测量技术。它借助光干涉现象，检测被测工件表面形貌的细微起伏或变化，以非接触的方式实现物体表面三维形状测量。
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工作时，一束白色光被分为两束：一束射向干涉物镜内的参考反射镜，另一束投向被测物，两束反射光相遇产生干涉。当干涉物镜沿Z轴扫描时，仅在与被测物对焦的位置处才会产生白色干涉条纹。CCD相机捕捉条纹强度的峰值位置，经过算法运算，得出被测物的3D形状。
在了解原理之后，接下来看看这项技术的优势及三丰公司的WLI产品阵容。
技 术 优 势
—— 非接触式无损检测 ——
传统的接触式测量易划伤工件表面，尤其对芯片、光学元件等脆弱元件风险很高。WLI-Unit通过白光干涉原理，无需物理接触即可获取三维形貌数据，避免人为损伤，确保被测件完整性。
—— 高精度，满足纳米级检测 ——
Z轴分辨率可达4nm，且3D形貌可直观地呈现工件表面的微观起伏，实现平面度、台阶高度等三维分析，契合半导体、光学器件的纳米级检测需求。
—— 多元场景灵活适配 ——
经济型、模块化传感器组件：
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非接触3D测量传感器WLI-Unit采用模块化设计，既能作独立实验室精密仪器，支撑精细检测；又能作为组件集成到各类设备或生产线，有效降低成本的同时，满足白光干涉测量需求。
